4D Technology


Flexcam은 필름의 기저층, 중간층, 그리고 보호층을 제자리에서 roll to roll로 측정하기 위한 소형의 고해상도 3D 측정 모듈로서, Roughness와 defect 검사과정에서 수직 방향 분해능을 나노미터 이하수준(sub나노), 수평방향 분해능을 마이크로미터 수준(micrometer scale)으로 측정할 수 있습니다.

실시간 모니터링이 가능하며 결함을 0.5mm rms 이하로 통제할 수 있으며, roll 내부에서의 위치를 기록하여 결합을 구분하고 정량화합니다. 또한 모든 Flexcam 모듈은 오프라인 명시야 현미경(off-line bright-field microscope)이나 3D 현미경에 비해 수천 배의 영역을 커버하고, 각 모듈은 매우 빠른 속도로 내부에서 모든 데이터를 처리하여 계산 결과를 실시간으로 보여줍니다. 


FlexCam Metrology Module

Vertical Resolution
< 0.5 nm   *Difference between two successive measurements on smooth (<1 nm Ra) surface

Lateral Sampling
2.0 μm   *Pixel size of the camera as projected onto the test piece

Snapshot Field of View
0.6 mm machine direction x 4.0 mm transverse direction

Standoff Distance
21 mm

Focus Range
±30 μm; automatically tracks surface despite roller runout or web flutter

Maximum Measurable Step
115 nm

Maximum Measurable Slope
3.3 degrees

Acquisition and Analysis Time
< 33 msec   *Time to acquire a field of view, calculate and report surface statistics and defects

Substrate Thickness Range
25 μm to > 1 mm

Substrate Reflectivity
1% – 30%; optional capability for highly reflective substrates

Maximum Substrate Speed
1 meter/minute for 100% coverage in machine direction

Maximum Allowable Roller Runout
±25 μm

Minimum Roller Diameter
6 in (15.2 cm)

Roller Coating
black anodize or similar

Operating Temperature
10–30° C (50–86° F)

Operating Humidity
> 98% non-condensing

Module Size
175 x 97 x 25 mm (6.9 x 3.8 x 1.0 in)

Module Weight
0.5 kg (1.1 lb)

Module Power Consumption
< 8 W /module

Overall surface roughness (rms, peak-to-valley, average)
Surface roughness excluding defect areas (rms, peak-to-valley, average)
Overall defect coverage (ppm)
Number of defects
Individual defect statistics including maximum slope, area, volume, etc.