Bruker

DektakPRO Series

세계 최고의 표면 단차 측정기


Dektak은 지난 50년간 독점적 기술 발전을 통하여 진화해 왔으며, 해상도 / 안정성 / 속도 및 다양성 측면에서 획기적인 개선을 이루었습니다. Dektak 시스템은 정확하고 신뢰할 수 있는 스타일러스 프로파일러의 기준으로 자리매김했습니다.


이제 Dektak PRO는 스타일러스 프로파일링의 혁신에서 한 단계 더 나아가, 더욱 향상된 작동성과 신뢰성 그리고 측정 정확도를 제공합니다.

최고의 정확도와 반복도


  • 가장 높은 수직 분해능
  • 가장 낮은 노이즈 플로어
  • 가장 쉬운 Tip 교환
  • nm 단차 측정 및 4Å 반복도

처리량 향상

Dektak Pro를 통해 측정 및 분석 프로세스의 모든 단계가 가속화됩니다. 직접 구동 스캔 스테이지 기술은 스캔 간의 시간을 줄이고, Vision64® 소프트웨어의 64비트 병렬 처리는 빠른 데이터 처리를 가능하게 합니다.


  • 새로운 알고리즘은 광학 라이브 이미지에서 거의 전체 시야를 초점에 맞추어, 측정하고자 하는 표면을 쉽게 찾을 수 있습니다.
  • 새로운 단차 Algorithm은 분석 루틴을 자동화하고, 일관성을 개선하며, 단차 계산에서의 사용자 오류 가능성을 최소화합니다.

완벽한 운전 및 분석


단 하나의 측정 헤드로, 별도의 Calibration 없이, 5nm~1mm 단차 측정과 0.03~15mg Scan Force를 모두 제어합니다. LIS 저관성 센서는 샘플 표면의 갑작스러운 변화에 빠르게 적응하고 동적 측정 시나리오에서 정확성과 반응성을 유지합니다.

간편한 스타일러스 교체


Dektak PRO의 스타일러스 자동 정렬 기능을 통하여 사용자는 작업 도중 실수 없이 스타일러스 침 크기를 변경할 수 있습니다. BRUKER는 어떠한 경우에도 사용할 수 있도록 다양한 크기의 스타일러스를 제공합니다. 

목적에 맞는 구성 선택


  • Dektak PRO -E or -S : 수동 100mm(4") X-Y 스테이지 (수동 세타 회전 옵션)
  • Dektak PRO -A : 자동 150mm(6") X-Y 스테이지 (전동 세타 회전 포함, 3D Mapping 가능)
  • Dektak PRO -A200 : 자동 200mm(8") X-Y Encoded 스테이지 (전동 Encoded 세타 회전 포함, 3D Mapping 가능)