- 정확하고 재현성이 월등한 비접촉 표면 측정
- 브루커 백색 간섭계(WLI) 혁신을 통합한 최신 패키지
- 배율에 관계없이 일정하고 정밀한 측정 제공
- 자동 레시피 적용 가능한 Automation 설비
- 전동식 XY Stage, 2D/3D 고해상도 측정 기능 제공
- 측정 안정성과 gage가 가능한 반복성 제공
- 비접촉식 3D 표면 계측을 위한 완전 자동화된 benchtop
- 탁월한 Z축 해상도와 정확성
- 간단한 액세스를 통한 광범위한 분석 제공
